GaN半導体に革命　生産コストの半分を占めるアンモニアから窒素水素に置き換える新製法を開発 [323057825]

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名古屋大学のダシヤン・アルン・クマール特任講師と石川健治教授、堀勝特任教授らは、
窒化ガリウム（ＧａＮ）の低温成長法を開発した。プラズマで窒素ラジカルなどを供給する。
原料をアンモニアから窒素と水素に置き換えられる。アンモニアは生産コストの３―５割を占めていた。
パワー半導体製造の低コスト化につながる。

窒素と水素のガスをプラズマ処理して窒素ラジカルなどを生成する。
基板上でガリウムなどの有機金属と反応し、ＧａＮの結晶が成長する。
従来はアンモニアを１１５０度Ｃ程度で熱分解して窒素ラジカルを供給していた。
分解効率が低く、大部分のアンモニアが排出されていた。

プラズマを用いると８００度ＣでＧａＮを製造できた。
結晶の成長速度は１時間当たり３・３マイクロ―４・５マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）と従来法に匹敵する。
容器を熱分解窒化ホウ素で覆うことで窒素ラジカルなどの失活を防いだ。

窒化アルミニウムは６００度Ｃ、窒化インジウムは２００度Ｃで製造できる。
低温で成長速度を制御でき、異なる物質を積層しても歪みを抑えられる。パワー半導体の量産などに提案していく。

「パワー半導体」量産に提案…名大、プラズマ活用でGaN高速成長
https://newswitch.jp/p/41748

ガリウムもインジウムも潤沢にあるわけじゃないのがなあ

ダシヤンってどこの国の名前なんだろう？

一方で電気自動車には全く力を入れてないので　中国めーに使われる

窒化ガリウムって最近よく聞くな
いいモノなのかね

アンモニアが生産コストの3～5割ってどういう計算なんだろうな
JSTの試算でGaN結晶製造の変動費は8割以上がガリウムのコストで残りはほぼ電気代、アンモニアのコストなんて0.5%も行かない程度だったけど
その試算でもアンモニアの熱分解効率3%で計算してあったから前提がそうズレてるわけでも無さそうだし

アンモニアって約8割は国内生産だから、
レアメタルと比べてそこまで困ってないんじゃね
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800℃で低温なのか

>>66
工業規模で扱うなら液安で輸送貯蔵して気化器でガス化して使うだけの安定したもんだけどな
液安タンクの定期検査なんかのランニングコスト入れてもたかが知れてる

GaNと書いてガリウムナイトライド
それが奴の名だ…そう、ガリウムナイトライドだ。
夜空を見るたび思い出せ！

サツマイモっぽい名前の特任講師